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產(chǎn)品分類
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組件類別 | 光學(xué)元件 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
極紫外 (EUV) 二向色濾光片
在高次諧波發(fā)生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開
專為高損傷閾值設(shè)計(jì)
支持從10 - 40納米的應(yīng)用
現(xiàn)貨儲(chǔ)備
無最小起訂量、無鍍膜批次收費(fèi)
型號(hào)
產(chǎn)品編碼 | Dia. (mm) | 厚度 (mm) | 波長(zhǎng)范圍 (nm) |
18-279 | 50.80 | 5.08 ±0.1 | 10 - 25 |
18-280 | 50.80 | 5.08 ±0.1 | 20 - 40 |
詳細(xì)資料
極紫外(EUV)二向色濾光片也被稱為分束鏡,是通過在極紫外(EUV)和近紅外波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高次諧波產(chǎn)生的應(yīng)用。這些濾光片采用熔融石英基片,相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外(EUV)濾光片,能支持更高的激光功率。極紫外(EUV)二向色濾光片的帶寬范圍從10納米到40納米。 除了高次諧波產(chǎn)生,這些濾光片還可用于支持極紫外(EUV)應(yīng)用的系統(tǒng),如EUV光刻、EUV納米加工、相干衍射成像和超快阿秒脈沖產(chǎn)生。