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RGA 系列薄型高速高重復(fù)性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

簡(jiǎn)要描述:RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應(yīng)用,但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤(pán)等樣品架。

快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈
高重復(fù)性
低擺動(dòng)和低偏心率
高扭矩和高加速度
全鋼結(jié)構(gòu),具有高剛度和熱穩(wěn)定性
即插即用 ESP 兼容性

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

經(jīng)銷(xiāo)商

更新時(shí)間

2024-11-27

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詳細(xì)介紹
品牌Newport/美國(guó)價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口產(chǎn)品種類電動(dòng)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

產(chǎn)品型號(hào)

型號(hào)規(guī)格
RGA150電動(dòng)旋轉(zhuǎn)位移臺(tái),高速,薄款設(shè)計(jì)
RGA150MAP電動(dòng)旋轉(zhuǎn)位移臺(tái),高速,薄款設(shè)計(jì)

產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)RGA150RGA150MAP
角度范圍360 °360 °
最大速度1800 °/s1800 °/s
最小位移增量0.01 mdeg0.01 mdeg
峰值驅(qū)動(dòng)扭矩11 Nm11 Nm
中心負(fù)載能力50 N50 N
雙向重復(fù)精度,典型值±0.0975 mdeg±0.0975 mdeg
精度,典型值±4 mdeg
精度,保證值±8 mdeg±1 mdeg
擺動(dòng),典型值±12 µrad±12 µrad
擺動(dòng),保證值±26 µrad±26 µrad
偏心率,典型值±0.5 µm±0.5 µm
偏心率,保證值±1 µm±1 µm
孔徑90 mm90 mm
MTBF20,000 hours @ 30% duty cycle20,000 hours @ 30 % duty cycle
電纜長(zhǎng)度5 m5 m
重量4.5 kg4.5 kg


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