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產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品描述
高性能熔融石英離軸拋物面反射鏡 采用高品質(zhì)熔融石英基底 具有低散射的 10Å 級表面粗糙度 90° 的偏離角度易于集成Product
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產(chǎn)品分類
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UltraFast Innovations (UFI)極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡 設(shè)計用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脈沖 具有38%峰值反射率的多層鍍膜 ≤1Å 表面粗糙度超拋光基底 另外提供專為 13.5nm 設(shè)計的極紫外(EUV)平面反射鏡 和 極紫外(EUV)球面反射鏡 備有現(xiàn)貨庫存 無最小起訂量、無鍍膜批次費(fèi)用